专利名称：一种膜吸收法制备超净高纯氨水的方法

专利类型：发明专利 ZL 201210183666.6

专利授予单位：中华人民共和国国家知识产权局

专利权人：华东理工大学

发明人：许振良;魏永明;刘志平;李金荣;马晓华

授权公告日：2015.09.02

专利简介：本发明涉及一种膜吸收法制备超净高纯氨水的方法，其特征在于，具体步骤为：(1)将液氨汽化成气氨；(2)对步骤(1)中的气氨进行除油；具体为采用膜法脱除气氨中的高碳油份，化学法脱除气氨中的低碳油份，树脂法脱除气氨中的水溶性油份；(3)对步骤(2)中除油后的气氨进行膜过滤，以除去杂质；(4)对步骤(3)中过滤后的气氨进行膜吸收，以制备出高纯氨水。本发明的优点：采用本方法制备的超净高纯氨水质量达到SEMI-C12氨水技术，其金属杂质含量≤0.1ppb；非金属杂质含量≤30ppb；颗粒(≥0.2μm)≤25个/mL；具有工艺简单、产品纯度高、生产成本低等一系列优点。