专利名称：膜吸收制备超净高纯硫酸的方法及所用装置

专利类型：发明专利 ZL 201510143568.3

专利授予单位：中华人民共和国国家知识产权局

专利权人：浙江建业化工股份有限公司;华东理工大学;浙江建业微电子材料有限公司

发明人：许振良冯烈;陈云斌;魏永明;刘询;马晓华;王爱艳

授权公告日：2016.10.05

专利简介：本发明公开了一种用于制备超净高纯硫酸的膜吸收装置，包括用于装液态三氧化硫的槽罐、脱除装置、膜吸收器、尾气回收装置、冷却器、低浓度硫酸贮槽、超净高纯硫酸贮槽和过滤装置。本发明还同时公开了利用上述装置进行的膜吸收制备超净高纯硫酸的方法：将液态三氧化硫汽化成三氧化硫气体后，首先在脱除装置内对三氧化硫气体采用聚四氟乙烯微孔膜法脱除三氧化硫气体的颗粒与杂质；然后采用高纯聚四氟乙烯(PTFE)膜吸收器对除颗粒与杂质后的三氧化硫气体进行吸收，以制备超净高纯硫酸。本发明采用膜吸收方法，其目的可以去除SO3气体中颗粒和部分油，可获得更纯的硫酸。